Informace o projektu
Vysokoteplotní trojkrystalová rtg difraktometrie a reflektometrie vrstevnatých systémů

Rtg trojkrystalová difraktometrie a reflektometrie budou použity pro sledování struktury tenkých vrstev a vrstevnatých systémů. Měření bude prováděno za pokojové teploty a za vyšších teplot až do teploty depozice vrstev na polovodičových epitaxních vrstvách a kovových vrstvách připravených magnetronovým naprašováním. Cílem projektu je získat informace o struktuře rozhraní (drsnosti) vrstevnatých systémů a o objemových defektech ve vrstvách (deformační pole, mikrodefekty), jakož i o jejich změnách za vyšších teplot. Výsledky měření bodou korelovány se spekulární a nespekulární odrazivostí vrstev ve viditelné oblasti a s pozorováním TEM a STM.