Informace o projektu
Měřící přístroje pro praktikum z technologie přípravy polovodičových součástek v čistých prostorách

V roce 2007 byla na Ústavu fyziky kondenzovaných látek PřF MU uvedena do provozu nová Laboratoř technologie polovodičů, která je koncipována jako vysoce čisté prostory pro mikroelektroniku. Laboratoř je určena primárně pro výuku a experimentální praktika v návaznosti na teoretické přednášky z fyziky a mikroelektroniky, které probíhají nejen na MU (přírodovědecké a pedagogické fakultě), ale i na ostatních spolupracujících českých vysokých školách. Takováto výuková laboratoř nebyla doposud v ČR k dispozici. Studenti se naučí pracovat v čistých prostorách a získají praktické dovednosti při přípravě polovodičových součástek (rezistory, kondenzátory, diody) na 100mm křemíkové desce procesy křemíkové technologie (fotolitografie, oxidace, difúze, leptání, měření). Cílem předkládaného projektu je vybavit laboratoř moderními měřícími přístroji pro metody, se kterými se student při své práci setká: měření tlouštěk a profilů deponovaných a leptaných vrstev pomocí spektrometru a profilometru a elektrických V-A a C-V charakteristik vyrobených součástek hrotovým měřením.