Humidity resistant hydrogenated carbon nitride films

• Název česky: Vlhkostně odolné hydrogenované vrstvy nitridu uhlíku
• Autoři: MIKMEKOVÁ Eliška; POLČÁK J.; SOBOTA Jaroslav; MÜLLEROVÁ Ilona; PEŘINA Vratislav; CAHA Ondřej
• Rok publikování: 2013
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Applied Surface Science
• Fakulta / Pracoviště MU: Středoevropský technologický institut
• www: http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433213005011
• Doi: http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2013.03.033
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Hydrogenated carbon nitride films; Magnetron sputtering; Compressive stress; Desorption; High resolution scanning low energy electron microscopy
• Popis: Vrstvy připravené magnetronovým naprašováním s příspěvkem vodíku a následným žíháním vykázaly zlepšení adhezivity k substrátu a stability ve vlhkém prostředí.

Související projekty

• CEITEC - středoevropský technologický institut
• Elektronové a strukturní vlastnosti trojrozměrných topologických izolantů