Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2014 |
Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | *Vícenásobná antireflexní vrstva z materiálů HfO2/SiO2 pro hlubokou ultrafialovou (DUV) oblast spektra na vlnové délce 266nm |
Související projekty: |