Spokes and cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

• Autoři: HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; HUBIČKA Zdeněk; ČADA Martin; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2015
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution of HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends only on the actual value of the discharge current for given pressure. Rotation of the spokes over the target surface and the frequency of the oscillations on cathode voltage and discharge current show different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy