![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Mechanical and optical properties of silicon oxide protective coatings prepared by PECVD
Název česky | Mechanické a optické vlastnosti SiO ochranných vrstev připravených technikou PECVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 1997 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Juniormat |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Související projekty: |