Kinetics of N2+HMDSZ gas phase chemical reactions in a remote RF plasma reactor with electron spin resonance

• Autoři: JANČA Marek; JANČA Jan; KUDRLE Vít; TÁLSKÝ Antonín
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 14th International Symposium on Plasma Chemistry
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Přiložené soubory

• ispc99.zip

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek