![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Electron Density and Ion Flux in Diffusion Chamber of Low Pressure RF Helicon Reactor
Název česky | Koncentrace elektronů a tok iontů v difúzní komoře nízkotlakého vf helikonového reaktoru |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | WDS'06 Proceedings of Contributed Papers, Part II |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Langmuir probe; planar probe; ion flux; electron density |
Popis | Koncentrace elektronů a tok iontů byli měřeny ve vysokofrekvenčním helikonovém reaktoru pří různých magnetických polích, tlaku 0,7 Pa a při vf výkonech 25-600 W pomocí válcové Langmuirovy sondy, planární sondy a optické emisní spetroskopie. Výsledky byly srovnávány. |
Související projekty: |