Mechanical properties of the tungsten thin film deposited by thermionic vacuum arc (TVA) method

• Název česky: Mechanické vlastnosti vrstev wolframových tenkých vrstev připravených metodou TVA
• Autoři: MUSA G.; LUNGU C.P.; CIUPINA V.; BURŠÍKOVÁ Vilma; VLADOIU Rodica
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, 18th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Mechanical properties; tungsten; thin film; thermionic vacuum arc (TVA)
• Popis: Cílem této práce bylo studovat mechanické vlastnosti wolframových tenkých vrstev připravených metodou TVA.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek