Informace o publikaci
In-situ spectroscopic ellipsometry: optimization of monitoring and closed-loop-control procedures
| Název česky | In-situ spectroscopická elipsometie: optimmalizace of monitorovacích a řídicích procedur |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2008 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | physica status solidi (a), Applied research |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | in situ ellipsometry; monitoring; closed loop control |
| Popis | Diskutujeme optimalizovanou extrakci informace obsažené v serii komplexních poměrů odrazivostí z in situ elipsometrických měření pořízených během růstu tenkých vrstev. Předkládáme obecné výpočetní schema a diskutujeme vodítka pro optimální zacházení s daty. Jako příklad uvádíme analýzu nekolika stovek spekter zaznamenaných při růstu diamantu podobných uhlíkových vrstev na sustrátech ocel/TiN. |
| Související projekty: |