![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing
Název česky | Homogenizace CZ Si desek pomocí žíhání Tabula Rasa |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2009 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Physica B condensed matter |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Silicon; Infra red; Precipitates |
Popis | Rozdíly v precipitaci kyslíku, morfologie precipitátů a vývoj bodových defektů byly studovány pomocí experimentálních technik jako jsou infračervená absorpce, transmisní elektronová mikroskopie, leptací techniky a rtg difrakce. |
Související projekty: |