Suppressed hysteresis behaviour of titanium sputtering in acetylene gas.

• Název česky: Potlačené hysterezní chování rozprašování titanu v acetylenu.
• Autoři: SCHMIDTOVÁ Tereza; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2009
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Tento příspěvek pojednává o potlačeném hysterezní chování rozprašování titanu ve směsi acetylenu a argonu.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev