Deposition and characterization of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

• Název česky: Depozice a charakterizace nc-TiC/a-C:H povlaků připravených hybridním PVD-PECVD
• Autoři: SOUČEK Pavel; EL MEL Abdelazziz; TESSIER Pierre-Yves; ELIÁŠ Marek; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potencial and Application of Nanotreatment of Medical Surfaces
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: magnetron sputtering; coating; nanocomposite; mechanical properties
• Popis: Rozprašováním titanového terče ve směsi argonu a acetylenu byly připraveny několik mikrometrů tlusté nc-TiC/a-C:H vrstvy. Pro přiblížení se průmyslovým podmínkám využití těchto vrstev byly použity leštěné ocelové substráty. Byl pozorován silný vliv počáteční teploty ocelových substrátů na výslednou kvalitu nc-TiC/a-C:H vrstev.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev