Informace o publikaci
Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology
| Název česky | Konfidenční interval pro vzdálenost dvoch mikro/nano struktúr a její aplikace v dimensionální metrologii |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2011 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Aplikovaná statistika, operační výzkum |
| Klíčová slova | Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals |
| Popis | Navrhla se metoda pro výpočet aproximatívního konfidenčního intervalu (Bonferroniho typu) pro vzdálenost dvoch mikro a/anebo nanostruktur při použití údajů dálkového komparátora. Tento postup zabezpečuje určení souřadníc hran, polohy a šířky struktury pomocí jejího fotometrického profilu. Postup je demonstrován na datach z komparátora v PTB Braunschweig v Německu. |
| Související projekty: |