Project information
Simulace a diagnostika vysokofrekvenčních výbojů pro syntézu nanomateriálů
- Project Identification
- MUNI/C/0913/2012
- Project Period
- 1/2013 - 12/2013
- Investor / Pogramme / Project type
-
Masaryk University
- Grant Agency of Masaryk University
- Rector's Program
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Other MU Faculty/Unit
-
Central European Institute of Technology
Cílem diplomové práce a případného projektu je studovat pomocí počítačových simulací fyzikálně-chemické procesy v Ar/H2/CH4 plazmatu mikrovlnného pochodňového výboje používaného na ÚFE (GAČR P205/10/1347) a v H2/CH4 plazmatu mikrovlnného reaktoru s lineárními anténami používaného na Fyzikálním ústavu AV ČR (spolupráce v rámci projektu GAČR P205/12/0908). Projekt tedy doplňuje aktuální témata výzkumu na PřF MU. Kromě výpočtů, prováděných metodou konečných prvků, budou prováděny i verifikační experimenty pro tyto výpočty. Jedná se zejména o diagnostiku pomocí optické emisní spektroskopie, Schlieren fotografie a další měření (teplota, odražený výkon, měření rychlou kamerou). Výstupem projektu budou detailní charakteristiky používaného plazmatu a závislost vlastností plazmatu na provozních parametrech. Vliv složení plazmatu (koncentrace iontů/radikálů) na depozice bude rovněž diskutován. Vzhledem k tomu, že srovnatelně komplexní simulace nejsou časté a zatím byly publikovány pouze pro odlišné typy výbojů, budou výstupem projektu nejen prezentace na konferencích, ale také dva články v recenzovaných časopisech (pro každý výboj jeden). Dalším výstupem projektu je samotný výpočetní algoritmus, který bude díky použití komerčního balíku COMSOL API jednoduše možné modifikovat pro jiné geometrie a typy výbojů.
Publications
Total number of publications: 6
2014
-
Spatially resolved measurement of hydroxyl radical (OH) concentration in an argon RF plasma jet by planar laser-induced fluorescence
Plasma Sources Science and Technology, year: 2014, volume: 23, edition: 2, DOI
2013
-
A hybrid 2D/3D model of hydrogen plasma in a coaxial microwave discharge
Year: 2013, type: Appeared in Conference without Proceedings
-
A hybrid 2D/3D model of hydrogen plasma in a linear antenna microwave device
10th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics Book of Abstracts, year: 2013
-
A hybrid 2D/3D model of low-pressure hydrogen plasma in a linear antenna microwave device for nanocrystalline diamond synthesis
Year: 2013
-
An updated model of Ar/H2 gas dynamics and plasma in a microwave plasma torch
10th Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics Book of Abstracts, year: 2013
-
Simulations of gas dynamics and plasma in an Ar/H2 atmospheric-pressure microwave plasma torch
Year: 2013