Project information
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
- Project Identification
- GA15-00863S
- Project Period
- 1/2015 - 12/2017
- Investor / Pogramme / Project type
-
Czech Science Foundation
- Standard Projects
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
Charles University
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Publications
Total number of publications: 32
2016
-
Magnetic field effect on spoke behaviour
Year: 2016, type: Conference abstract
-
Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge
Year: 2016, type: Conference abstract
2015
-
Cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behavior during HiPIMS discharge
Year: 2015, type: Appeared in Conference without Proceedings
-
Determination of titanium atom and ion densities in sputter deposition plasmas by optical emission spectroscopy
Plasma Sources Science and Technology, year: 2015, volume: 24, edition: 6, DOI
-
Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge
Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015, year: 2015
-
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in a HiPIMS discharge
Year: 2015, type: Conference abstract
-
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in HIPIMS discharge
Year: 2015, type: Conference abstract
-
Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS
Book of Contributed Papers, year: 2015
-
Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species
Year: 2015, type: Conference abstract
-
Spoke induced cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS
Year: 2015, type: Conference abstract