Project information
Tenzometrické tenkovrstvé senzory s vysokou citlivostí a životností připravované pomocí magnetronové depozice
- Project Identification
- FW06010462
- Project Period
- 3/2023 - 6/2026
- Investor / Pogramme / Project type
-
Technology Agency of the Czech Republic
- TREND
- Subprograms 1 Technology leaders
- MU Faculty or unit
- Faculty of Science
- Cooperating Organization
-
Institute of Physics of the ASCR, v. v. i.
- Responsible person Mgr. Martin Čada, Ph.D.
- Responsible person doc. Ing. Jiří Čapek, Ph.D.
- Responsible person Ing. Pavel Mareš, Ph.D.
Projekt se zabývá přípravou nové generace tenzometrických senzorů založených na technologii tenkých vrstev pro využití v průmyslu 4.0. Projekt se zabývá redesignem všech vrstev potřebných pro funkčnost senzoru, zvýšením kvality senzorů a současnou minimalizací ceny přípravy těchto senzorů.
Publications
Total number of publications: 2
2025
-
Influence of oxygen flow on the structure, chemical composition, and dielectric strength of AlxTayOz thin films deposited by pulsed-DC reactive magnetron sputtering
Surface and Coatings Technology, year: 2025, volume: 498, edition: February, DOI
2024
-
Aluminum tantalum oxide thin films deposited at low temperature by pulsed direct current reactive magnetron sputtering for dielectric applications
Vacuum, year: 2024, volume: 221, edition: March, DOI