OVĚŘENÁ TECHNOLOGIE - Průmyslová příprava TiZrN vrstev

• Title in English: Proven technology - Industrial deposition of TiZrN coatings
• Authors: SOCHORA Vjačeslav; VAŠINA Petr
• Year of publication: 2021
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Description: The deposition technology of Ti_Zr_N coatings with enhanced fracture toughness is based on reactive magnetron sputtering of a rotating cylindrical target composed of titanium (Ti) and zirconium (Zr) segments.

Related projects

• Vývoj průmyslové technologie pro depozice tvrdých XBC a TiXN povlaků se zvýšenou lomovou houževnatostí