Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů

• Title in English: Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces
• Authors: FRANTA Daniel; OHLÍDAL Ivan; HORA Jaroslav; NAVRÁTIL Karel
• Year of publication: 1996
• Type: Article in Proceedings
• Conference: 12. konference českých a slovenských fyziků
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Citation: FRANTA, Daniel, Ivan OHLÍDAL, Jaroslav HORA and Karel NAVRÁTIL. Spektroskopická elipsometrie slabě drsných povrchů (Spectroscopic Ellipsometry of Slightly Rough Surfaces). In 12. konference českých a slovenských fyziků. Ostrava: Fyzikální vědecká sekce Jednoty českých matematiků a fyziků, 1996, p. 482-485.
• web: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/KCSF96_482.html
• Field: Solid matter physics and magnetism
• Description: In this contribution we will show that equations for ellipsometric quantities and reflectance derived by us generalized Rayleigh-Rice theory (RRT) can be used for analysis of slightly rough thin layers.