PECVD a opracování povrchu materiálů v nízkotlakých výbojích

• Title in English: PECVD and treatment of surfaces in low pressure discharges
• Authors: ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Year of publication: 2005
• Type: R&D Presentation
• MU Faculty or unit: Faculty of Science
• Citation: ZAJÍČKOVÁ, Lenka. PECVD a opracování povrchu materiálů v nízkotlakých výbojích (PECVD and treatment of surfaces in low pressure discharges). 2005.
• Description: The presentations covers plasma technologies used for deposition of thin films and treatment of surfaces.

Related projects

• Synthesis of new Si-O(N)-C materials by plasmachemical methods