Informace o projektu
Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD

Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto p