Informace o projektu
Nové postupy při depozici tenkých vrstev reaktivním magnetronovým naprašováním
- Kód projektu
- MEB020761
- Období řešení
- 1/2008 - 12/2008
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Program KONTAKT (ME + MEB) (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Klíčová slova
- x
Hlavním cílem této bilaterální spolupráce je porozumění a kontrola fyzikálních procesů klíčových při přípravě tenkých vrstev metodou magnetronového naprašováním (PVD).