Informace o projektu
Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
- Kód projektu
- GV106/96/K245
- Období řešení
- 1/1996 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Komplexní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Mgr. Martin Mišina, Dr.
- Odpovědná osoba doc. RNDr. Milan Hrabovský, CSc.
- Odpovědná osoba prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Cílem projektu je vyšetřit mechanismus vytváření tvrdých a supertvrdých povlaků, jako jsou nitridy přechodových kovů, tvrdé amorfní vrstvy typu SiOxNy, SiOxCy, SiOxCyHz a BN, diamantové povlaky a vrstvy typu CN, a vyvinout novou generaci tvrdých nanokompozitních povlaků tvořených nanokrystalickou fází a amorfní nebo kovovou matricí. Nanokompozitní vrstvy s ´tvrdou´matricí budou představovat nový druh supertvrdých povlaků s vysokou hodnotou Youngova modulu přužnosti. Nanokompozitní vrstvy s ´měkkou´matricí budou reprezentovat nový druh tvrdých povlaků s vyšší houževnatostí. K dosažení tohoto cíle bude prováděn koordinovaný systematický základní výzkum v následujících oblastech: (i) vytváření nanokrystalických a amorfních vrstev, (ii) vytváření ´vysokoteplotních fází´materiálů při nízkých teplotách substrátu (100 stupňů C a nižších), (iii) studium plazmochemických reakcí důležitých pro vytváření zmíněných materiálů, (iv) vzájemné mísení prvků povlaku a substrátu a (v) přilnavost tvrdých povlaků.
Publikace
Počet publikací: 32
2001
-
Additional microwave diagnostics of afterglow with ESR spectrometer
Microwave discharges: fundamentals and applications, rok: 2001, počet stran: 6 s.
-
Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy
Surface and Interface Analysis, rok: 2001, ročník: 32, vydání: 1
-
Determination of rate constant of N+HMDSZ gas phase chemical reaction by means of EPR
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Determination of Thicknesses and Spectral Dependences of Refractive Indices of Non-Absorbing and Weakly Absorbing Thin Films Using the Wavelengths Related to Extrema in Spectral Reflectances
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 1
-
Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Optical Characterization of Diamond-like Carbon Films
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4
-
Optical characterization of nonabsorbing and weakly absorbing thin films with the wavelengths related to extrema in spectral reflectances
Applied Optics, rok: 2001, ročník: 40, vydání: 31
-
Plasma modification of polycarbonates
Surface & coatings technology, rok: 2001, ročník: 2001, vydání: 142-144
-
Study of hydrocarbons decomposition in microwave discharge and mass spectrometry of radiofrequency discharges in liquids
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001