Informace o projektu
Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev
- Kód projektu
- GA101/98/0772
- Období řešení
- 1/1998 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Vysoké učení technické v Brně
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Jiří Spousta, Ph.D.
Projekt si klade za cíl navrhnout a zkonstruovat kompaktní měřící optické zařízení k plošnému in-situ měření tlouštěk a optických konstant tenkých vrstev. Funkce tohoto měřícího přístroje, jenž je založen na originální metodě detekce odraženého bílého světla CCD kamerou, bude optimalizována ve spojení se stávající vakuovou depoziční aparaturou, využívající k depozici tenkých vrstev dva širokosvazkové iontové zdroje Kaufmanova typu. Získané poznatky budou následně využity k řízení depozičního procesu a umožní tak uskutečnění cílených technologických zásahů v průběhu růstu vrstevnatého systému. Nespornou předností navrhovaného zařízení je jeho univerzálnost - principiálně jej bude možno využít k in-situ analýzám deponovaných tenkých vrstev vytvořených i jinými výše zmíněnými iontově-svazkovými technologiemi. Část návrhů jednotlivých komponent bude zajištěna diplomovými projekty studentů oboru fyzikálního inženýrství ÚFI FS Brno a náplní navazujícího doktorandského studia.
Publikace
Počet publikací: 4
2001
-
Analysis of inhomogeneous thin films of ZrO2 by the combined optical method and atomic force microscopy
Surface and Interface Analysis, rok: 2001, ročník: 32, vydání: 1
2000
-
Atomic force microscopy measurements of surface roughness quantities important in optics of surfaces and thin films
Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy, rok: 2000
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry
Surface and Interface Analysis, rok: 2000, ročník: 30, vydání: 1
1998
-
Comparison of AFM and optical methods at measuring nanometric surface roughness
Proceedings of the 3th Seminar on Quantitative Microscopy, rok: 1998