Informace o projektu
Metodika Langmuirovy sondy pro diagnostiku nízkoteplotního plazmatu v technologických aplikacích

Sondová diagnostika je stále velmi často používanou diagnostikou plazmatu při jeho technologických aplikacích. Parametry plazmatu vyhodnocené ze sondových dat jsou však často zatíženy chybou plynoucí z faktu, že pro reálné podmínky aplikace (např. vyšší tlak nebo přítomnost magnetického pole) není dostupná teorie sběru nabitých částic sondou. Předkládaný projekt bude řešit problém sběru nabitých částic na Langmuirovu sondu v izotermickém a neizotermickém plazmatu za středních tlaků, za přítomnosti magnetického pole a dále v podmínkách, kdy dochází k naprašování vodivého, případně nevodivého materiálu na povrch sondy. Podobné podmínky existují v reálných plazmochemických reaktorech. Použité metody jsou teoretické a experimentální. Teoreticky bude studován problém sběru nabitých částic na sondu za středních tlaků a za přítomnosti magnetického pole a to numerickým modelováním metodou Monte Carlo na pracovišti spoluřešitele projektu. Problém naprašování materiálu na sondu bude řešen novou konstrukcí sondy.