![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2012 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | finite element method, simulation, plasma, NCD, microwave plasma, hydrogen plasma |
Související projekty: |