Informace o projektu
Pokročilý experimentální výzkum mikrovlnného plazmového systému pro přípravu velkoplošných nanodiamantových vrstev
- Kód projektu
- GAP205/12/0908
- Období řešení
- 1/2012 - 12/2014
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Ing. Štěpán Potocký, PhD.
Cílem projektu je poznání a pochopení komplexních procesů probíhajících při růstu nanokrystalických diamantových vrstev definovaných vlastností, deponovaných na různých podložkách
(měkké podložky, kovy) a velkých plochách pomocí unikátního mikrovlnného plazmatického
systému s lineárními anténami.
Publikace
Počet publikací: 4
2015
-
Studying a low-pressure microwave coaxial discharge in hydrogen using a mixed 2D/3D fluid model
Journal of physics D: Applied physics, rok: 2015, ročník: 48, vydání: 6, DOI
2012
-
Finite Element Method Simulations of Hydrogen Plasma in a Linear Antenna Microwave Plasma Source for Deposition of NCD Films
Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts, rok: 2012
-
Numerical simulation of large area microwave plasma system for deposition of nanocrystalline diamond films
XXI Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases Proceedings, rok: 2012
-
Simulations of atmospheric pressure microwave plasma torch in Ar/H2 mixture using Matlab and COMSOL Multiphysics API
20th Annual Conference Proceeding's Technical Computing Bratislava 2012, rok: 2012