![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Studies of influence of high temperature preannealing on oxygen precipitation in CZ Si wafers
Název česky | Studie vlivu vysokoteplotního předžíhání na precipitaci kyslíku v CZ Si deskách |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2012 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of crystal growth |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2012.03.048 |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | impurities; point defects; precipitates |
Popis | Studovali jsme Czochralski tažené křemíkové desky slabě dopovaný bórem po precipitaci kyslíku s použitím vysokoteplotního předžíhání. |
Související projekty: |