Informace o publikaci

On sputtered particle distribution towards substrate during target erosion - simulation and experiment

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Autoři

KLEIN Peter VAŠINA Petr SCHMIDTOVÁ Tereza

Rok publikování 2013
Druh Článek ve sborníku
Konference PAPN 2013: Book of extended abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Sputtering; Magnetron; Monte Carlo simulation; Compound material
Popis It is commonly observed that thin layers, especially formed by compound material deposited in planar magnetron using the same deposition manners, can have slightly different properties and composition. This research shows that one of the important factors to be considered thinking about fluxes of different species on the substrate is the target erosion state. Using Monte Carlo simulation optimal conditions for reproducibly depositing thin layer were calculated.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info