Preparation of hard TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron

• Autoři: ŽEMLIČKA Radek; JÍLEK Mojmír; VOGL Petr; SOUČEK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2013
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: This work deal with preparation of hard nc-TiC/a-C:H coatings using hybrid PVD-PECVD process with rotating cylindrical magnetron.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev