Informace o publikaci
PLASMA-SURFACE INTERACTION EFFECTS DURING ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA MODIFICATION OF SILICON
| Název česky | Efekty plazmově-povrchových interakcí při modifikaci křemíku plazmatem za atmosférického tlaku |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2014 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | HAKONE XIV, 2014 Zinnowitz Germany, Book of Contributions |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | interaction; plasma; surface; barrier discharge;coplanar; DCSBD; Silicon |
| Popis | Cílem této práce je studium plazmově-povrchových interakcí plazmatu DCSBD s křemíkem. Studován byl vliv plazmatu generovaného ve vzduchu na povrchové vlastnosti křemíku s ohledem na filamentární povahu DCSBD výboje. Povrchové vlastnosti a chemické složení křemíku byly studovány pomocí SEM, resp. EDX. Získaná experimentální data byla úspěšně podpořena výsledky numerického modelování. |
| Související projekty: |