Informace o publikaci
Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst TiCC II vrstev na zařízení s rotačními katodami
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2014 |
| Druh | Výzkumná zpráva |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Popis | Vývoj technologie přípravy kluzných TiCC II povlaků na zařízení s rotačními katodami firmy Platit a.s. |