Informace o publikaci

Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Autoři

SŤAHEL Pavel ČERNÁK Mirko NAVRÁTIL Zdeněk JIRUŠE Jaroslav FIALA Jiří HANIČINEC Martin

Rok publikování 2015
Druh Patent
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Vydavatel Úřad průmyslového vlastnictví
Stát vydání Česká republika
Číslo patentu 305097
Popis Způsob snížení nebo odstranění organické a, nebo anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, kde alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuovaného prostoru vakuového systému se opatří fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy se chladí na teplotu v intervalu od 0 do 280 K, přičemž řečená fotokatalytická vrstva je dále alespoň z části ozařována elektromagnetickým zářením, které aktivuje fotokatalytickou reakci této fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféry vakuovaného vnitřního prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminanty a snižuje jejich koncentraci a, nebo koncentraci vody ve vakuovaném vnitřním prostoru vakuového systému. Tento způsob a zařízení k jeho provádění umožňuje snížení nežádoucí organické a anorganické kontaminace vakuových systémů, a to nejen v procesu výroby, ale také umožňuje snížení kontaminace v již provozovaných systémech, jako jsou např. SEM, TEM, SEM FIB, XPS, MALDI, SIMS a další analytické a inspekční techniky.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info