Report on spoke rotation, merging and splitting in HiPIMS plasma

• Autoři: KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; LOCKWOOD ESTRIN Francis; VAŠINA Petr; W. BRADLEY James
• Rok publikování: 2017
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: The presented spoke study was performed in both non-reactive as well as reactive nitrogen HiPIMS plasma using simultaneous broadband optical screening via ICCD camera (200 ns time scale) and strip probes embedded into the niobium target. Strip probes measured actual local current delivered to the target. Spoke merging and splitting was detected by both employed methods.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy