ENVIRONMENTAL STABILITY OF NITROGEN CONTAINING PLASMA-POLYMERIZED HEXAMETHYLDISILOXANE FILMS

• Název česky: Environmentální stabilita tenkých vrstev hexamethyldisiloxanu s obsahem dusíku připravených pomocí plazmové polymerace
• Autoři: KELAROVÁ Štěpánka; PŘIBYL Roman; HOMOLA Vojtěch; VÁCLAVIK Richard; STUPAVSKÁ Monika; KELAR Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2018
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 9TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOMATERIALS - RESEARCH & APPLICATION (NANOCON 2017)
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova: Plasma polymer films; plasma enhanced chemical vapor deposition; FTIR; nanoindentation
• Popis: Organosilikonové tenké vrstvy s obsahem dusíku byly připraveny pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze za použití RF kapacitně vázaného doutnavého výboje ze směsi hexamethyldisiloxanu a dusíku.Průtok dusíku se pohyboval v rozmezí 2-10 sccm, průtok hexamethyldisiloxanu byl udržován v rozmezí 0,3-0,4 sccm. Výkon dodávaný do výboje byl 50 W. Stabilita vyrobených tenkých vrstev v okolním prostředí byla studována pomocí konfokální mikroskopie, elipsometrie a FTIR. Strukturální změny studovaných vrstev způsobené okolní vlhkostí měly výrazný vliv na jejich mechanické vlastnosti. Mechanické vlastnosti byly studovány pomocí nanoindentačních metod.

Související projekty

• Lokální mikrostrukturní změny vyvolané statickou a dynamickou indentací nanostrukturovaných a nanolaminovaných povlaků
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy