Optimization and influence of pillar shape on micro-compression tests results

• Název česky: Optimalizácia a vplyv tvaru pilárkov na výsledky mikro-kompresných testov
• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; ZÁBRANSKÝ Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma; DLUHOŠ Jiří; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2018
• Druh: Konferenční abstrakty
• Popis: Séria pilárkov s rôznym sklonom medzi 4° a 14° bola pripravená pomocou FIB techniky na povrchu Mo-B-C vrstiev. Následne boli určené mez skzu a Youngov modul pružnosti z výsledkov mikro-kompresných skúšok.

Související projekty

• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev
• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace