Zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů

• Autoři: ČADA Martin; HUBIČKA Zdeněk; HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2020
• Druh: Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek)
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli zařízení pro zvýšení depoziční rychlosti HiPIMSu použitím balíčků pulzů. Změřené parametry plazmatu prokázali, že zařízení je schopné zdvojnásobit depoziční rychlosti při zachování ionizačního stupně rozprášených částic.

Související projekty

• Národní centrum kompetence pro materiály, pokročilé technologie, povlakování a jejich aplikace