Temporal studies of titanium ionised density fraction in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

• Název česky: Časově rozlišená studie ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu s příměsí dusiku
• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Source Science and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: Odkaz na publikáciu
• Doi: http://dx.doi.org/10.1088/1361-6595/ac333f
• Klíčová slova: plasma diagnostic; HiPIMS; ionisation fraction; titanium; nitrogen
• Popis: Tato publikace popisuje časový vývoj hustot základního stavu atomů a iontů titanu a podílu ionizovaných částic titanu během procesu vysokovýkonného impulsního magnetronového naprašování. Tento pulzní proces je studován v nereaktivní argonové atmosféře a v reaktivní argon-dusíkové atmosféře. V oblasti blízko rozprašovaného terču byla naměřena maximální podíl ionizovaných částic 95 % uprostřed pulzu.

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev