Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS

• Název česky: Studium ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu
• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Další prezentace na konferencích
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Prezentace popsala a vysvětlila chování časového vývoje hustot rozprašovaných částic a jejich ionizační podíl v blízkosti terče a substrátu během HiPIMS procesu. Byly porovnány čtyři hlavní režimy hystereze v argon-dusíkové atmosféře včetně dvou v kovovém režimu, přechodovém režimu a otráveném režimu.

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
• R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications