Microhardness measurements of the thin layers of the amorphous hydrogenated silicon and its alloys

• Autoři: ŠŤASTNÝ Jiří; SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel
• Rok publikování: 1997
• Druh: Kapitola v knize
• Fakulta / Pracoviště MU: Pedagogická fakulta
• Citace: ŠŤASTNÝ, Jiří, Petr SLÁDEK a Pavel SŤAHEL. Microhardness measurements of the thin layers of the amorphous hydrogenated silicon and its alloys. In Proceedings of Contributed Papers, konference WDS 97 Praha. Praha: UK, Matematicko-fyzikální fakulta, 1997, s. 388.