![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Influence of defects of thin films on determining their thickness by the method based on white light interference
Název česky | Vliv defektů v tenkých vrstvách na určení jejich tloušťky metodou interference bílého světla |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 1993 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | J. Phys. D: Appl. Phys. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | thin films |
Popis | Metoda určení tloušťky tenké vrstvy pomocí interference bílého svqtla. Vliv defektů. |