Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu

• Autoři: JANČA Jan; NAVRÁTIL Karel; BOCHNÍČEK Zdeněk
• Rok publikování: 1995
• Druh: Kapitola v knize
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek