Depozice a charakterizace tenkých BN vrstev v dusíkovém mikrovlnném a čpavkovém dohasínajícím výboji

• Autoři: ELIÁŠ Marek; JANČA Jan
• Rok publikování: 1997
• Druh: Kapitola v knize
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek