Informace o publikaci

Structural characterization of a lamellar W/Si multilayer grating

Název česky Strukturní charakterizace planárních W/Si vrstevnatých mřížek
Autoři

JERGEL M. MIKULÍK Petr MAJKOVÁ E. LUBY Š. SENDERÁK R. PINČÍK E. BRUNEL M. HUDEK P. KOSTIČ I. KONEČNÍKOVÁ A.

Rok publikování 1999
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj J. Appl. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#JergelMikulikRapid
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova x-ray reflectivity; gratings; multilayers
Popis A lamellar multilayer grating of the nominal normal and lateral periods 8 nm and 800 nm, respectively, was obtained by etching a planar amorphous W/Si multilayer up to the substrate. The specular reflectivity, grating truncation rods of non-zero orders, and a reciprocal space map of the scattered intensity close to the total external reflection were measured using the CuKa radiation. For the first time, we demonstrate an extraction of real structural parameters of a fully etched periodic multilayer grating from fitting the measured truncation rods based on the matrix modal eigenvalue approach to the dynamical theory of reflectivity by gratings.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info