Úplná optická charakterizace neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev pomocí víceúhlové elipsometrie

• Autoři: OHLÍDAL Ivan
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Jemná mechanika a optika
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Optika, masery a lasery
• Popis: V této práci je popsána elipsometrická metoda umožňující určit hodnoty všech optických parametrů, tj. hodnoty indexů lomu a tlouštěk, neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev umístěných na absorbujících podložkách.

Související projekty

• Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod