Informace o publikaci
Soubor dělicích vrstev ve specifikaci s parametry prvního děliče Rp = 50 % ± 3 % @248 nm; druhého děliče Rp = <0,4; 0,75> a Rs < 1 % na vlnové délce 248 nm a zvýšenou propustností v oblasti od 630 nm do 670 nm.
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2022 |
| Druh | Technicky realizované výsledky (prototyp, funkční vzorek) |
| Popis | Realizace děličů světla splňující požadavky odrazivosti a propustnosti na pracovní vlnové délce 248 nm a inspekční vlnové délce v intervalu <630, 670> nm. Vrstvy prvního děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů HfO2/SiO2 a splňují specifikaci: propustnost pro p-složku 50 % ± 3 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 50 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách od 630 nm do 670 nm. Vrstvy druhého děliče byly připraveny technologií magnetronového naprašování kombinací materiálů Al2O3/SiO2 a splňují specifikaci průměrná propustnost vyšší než 98,5 %, odrazivost pro p-složku v rozmezí od 0,4 % do 0,75 % a odrazivost pro s-složku menší než 1 % při úhlu dopadu 45° ± 3° na vlnové délce 248 nm a zároveň odrazivost pro s-složku 25 % ± 5 % při úhlu dopadu 45° ± 3° ve vlnových délkách 630 nm až 670 nm. |
| Související projekty: |