Informace o publikaci
Technologie pro měření rychlosti růstu vrstvy a ionizace rozprášeného kovu při depozici s velmi vysokým výkonem
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2024 |
| Druh | Poloprovoz, technologie, odrůda, plemeno |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Popis | Navržená technologie ukazuje, že funguje spolehlivě a umožňuje úspěšně měřit depoziční rychlost i tok atomů a tok iontů rozprášeného kovu ve stejnosměrném magnetronovém naprašování při aplikaci velmi vysokých výkonů. |
| Související projekty: |