Informace o publikaci

Deposition of HMDSO Layers by Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge Plasma

Autoři

HENDLER Carina VIDA Július ZAŽÍMAL František CHWATAL Simon KAINDL Reinhard HOMOLA Tomáš

Rok publikování 2024
Druh Konferenční abstrakty
Citace

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info