
Deposition of HMDSO Layers by Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge Plasma
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2024 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Citace |
Přejít k obsahu | Přejít k hlavnímu menu | Přejít k vyhledávání
Další možnosti studia
Další možnosti studia
Autoři |
HENDLER Carina VIDA Július ZAŽÍMAL František CHWATAL Simon KAINDL Reinhard HOMOLA Tomáš |
---|---|
Rok publikování | 2024 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Citace |