Study of Thin Film Defects by Atomic Force Microscopy

• Název česky: Studium defektů tenkých vrstev pomocí mikroskopu atomové síly
• Autoři: KLAPETEK Petr; FRANTA Daniel; OHLÍDAL Ivan
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on Nanoscale Calibration Standards and Methods
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/PTBF44_107.html
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: AFM
• Popis: V tomto příspěvku budou prezentovány výsledky týkající se některých defektů tenkých vrstev.

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek