Optical diagnostics of atmospheric pressure glow discharge in nitrogen with admixture of organosilicon

• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; SŤAHEL Pavel; TRUNEC David; BURŠÍKOVÁ Vilma; BRABLEC Antonín
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ICPIG XXVI
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: atmospheric pressure glow dicharge; spectroscopy; nitrogen; organosilicon
• Popis: The atmospheric pressure glow discharge in nitrogen with small admixture of different organosilicon compounds such as hexamethyldisilazane and hexamethyldisiloxane was studied by means of emission spectroscopy. The deposited films were studied by means of indentation techniques.

Související projekty

• Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku
• Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev